半導體行業
Semiconductor Industry
半導體材料和設備的國產化推動了我國半導體硅片的規模化生產。
磁流體密封傳動部件是鍺、硅、藍寶石、碳化硅等半導體材料的晶體生長及加工裝備的重要零部件之一。
國產化的磁流體密封傳動部件將繼續采用國際先進技術，保持國際一流品質。
產品廣泛應用于半導體前道工藝、Ingot工藝應用、電子級大硅片生長設備
Diffusion工藝應用：
TEL8”機臺、TEL12”機臺、KE8”機臺、KE12”機臺等
Implantation工藝應用：Varian機臺、Axcelis機臺等
