目前隨著LED芯片向微米級發展,Mini/Micro LED已逐步成為LED行業發展的重點,更小的芯片尺寸和點間距,對芯片制造和封裝提出了更高的要求。LED外延片是LED芯片生產最核心的環節,也將決定著LED芯片的質量,因此,LED芯片廠商對外延生長設備是格外重視。磁流體密封傳動部件是MOCVD設備的核心部件之一,磁強沃格專業研發的磁流體密封傳動部件歷經眾多設備廠商驗證,確保絕對純凈的密閉空間。
MOCVD工藝主要應用了集成驅動式磁流體。我們已與國內眾多光電終端客戶建立維護合作,實現關鍵部件國產化。產品也應用于第三代半導領域,為客戶提供定制化服務。